МАЛОГАБАРИТНИЙ СЕЙСМОДАТЧИК НА ОСНОВІ НИТКОПОДІБНИХ КРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ

A. A. Druzhinin, O. P. Kutrakov, R. M. Koretskyy

Анотація


Предложенная конструкция сейсмодатчика, принцип действия которого основан на тензорезистивном эффекте в полупроводниках. Рассмотрена возможность применения нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, в качестве чувствительных элементов. Разработанный датчик предназначен для измерения как статических, так и динамических деформаций в диапазоне частот 0-800 Гц. Среди преимуществ данного сейсмодатчика над аналогами является слабая зависимость от магнитного поля, электронного облучения и широкая полоса исследуемых сигналов.


Ключові слова


нитевидный кристалл; кремний; сейсмический датчик (геофон); вибрация; акселерометр

Посилання


A. A. Egorov. Sistematika, principy raboty i oblasti primenenija datchikov // Zhurnal radiojelektroniki,3, pp. 1-22 ( 2009) (in Russian).

A. S. No.1260894 SSSR, MKI3 G 01V 1/16. Sejsmodatchik / M. S. Hlystunov. – opubl. 30.09.86, Bjull. No. 36 (in Russian).

A. S. No.397868 SSSR, MKI3 G 01V 1/16. Trehkomponentnyj p’ezojelektricheskij sejsmometr / V. M. Fremd. – opubl. 17.09.1973, Bjull. No. 37 (in Russian).

B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, P. G. Hartwell Hewlett Packard’s seismic grade MEMS accelerometer // Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2011 IEEE 24th International Conference. Cancun, Mexico, January 23-27, pp. 385-388 (2011).

A. A. Druzhinin, I. I. Maryamova, E. N. Lavitskaja, A. P. Kutrakov, Ju. M. Pankov. Poluprovodnikovye sensory mehanicheskih velichin na osnove mikrokristallov kremnija dlja jekstremal’nyh uslovij // Mikrojelektronnaja tehnika, 9, pp. 3-8 (2001) (in Ukrainian).

A. A. Druzhinin, I. I. Maryamova, E. N. La-vitskaja, A. P. Kutrakov, Ju. M. Pankov. Ot poluprovodnikovyh tenzo-rezistorov k mikrojelektronnym datchikam // Datchiki i sistemy, 6, pp. 2-7 (2001) (in Russian).

I. Maryamova M. Tykhan, A. Kutrakov et al. Semiconductor mechanical sensors for advers and dynamic conditions // XIV IMEKO World Congress, Finland, IX(A), pp. 99-103 (1997).

A. O. Druzhynin, I. I. Maryamova, O. P. Kutrakov, I. V. Pavlovskyi. Vplyv deformatsii na domishkovu providnist nytkopodibnykh krystaliv kremniiu v oblasti perekhodu metal-dielektryk // Fizyka i khimiia tverdoho tila, 4(4), pp. 720-728 (2003) (in ukrainian).

A. O. Druzhynin, I. I. Maryamova, O. P. Kutrakov, N. S. Liakh-Kahui. Nytko-podibni krystaly kremniiu dlia sensornoi elektroniky // Fizyka i khimiia tverdoho tila, 12(4), s. 1078-1084 (2011) (in Ukrainian).

A. O. Druzhynin, I. I. Maryamova, O. P. Kutrakov, N. S. Liakh-Kahui. Tenzorezystyvni sensory tysku na osnovi nytkopodibnykh krystaliv kremniiu // Sens. elektron. mikrosist. tehnol., 3(9), pp. 16–24 (2012) (in Ukrainian).

O. P. Kutrakov. Tenzorezystyvni davachi tysku na osnovi nytkopodibnykh krystaliv kremniiu dlia shyrokoho diapazonu temperatur i chastot. [Tekst]: dys. kand. tekh. nauk: 05.27.01 Nats. un-t „Lvivska politekhnika” L., pp.150 (2012) (in Ukrainian).

I. V. Andreev. Spravochnik po raschetu sobstvennyh kolebanij uprugih sistem. OGIZ, M. 224 p. (1946) (in Russian).

L. E. Andreeva. Uprugie jelementy priborov Mashiz, M. 456 p. (1962) (in Russian).

A. O. Druzhynin, I. I. Maryamova, I. P. Ostrovskyi, Yu. M. Khoverko, N. S. Liakh-Kahui. Vplyv oprominennia na strybkovu providnist nytkopodibnykh krystaliv Si ta SiGe // Tezy dopov. IV Ukr. nauk. konfer. z fizyky napivprovidnykiv (UNKFN-4), 15–19 veresnia, Zaporizhzhia, 1, pp. 192–193. (2011) (in Ukrainian).

A. O. Druzhynin, I. P. Ostrovskyi, I. R. Kohut Nytkopodibni krystaly kremniiu, hermaniiu ta yikhnikh tverdykh rozchyniv u sensornii elektronitsi Monohrafiia, Lviv: Vydavnytstvo Natsionalnoho universytetu “Lvivska politekhnika”, 200p. (2010)

(in Ukrainian).




DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2016.2.73618

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2016 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)