ДОСЛІДЖЕННЯ СТРУКТУРИ ЄМНІСНИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ НА ОСНОВІ ТОНКОПЛІВКОВОЇ СТРУКТУРИ Al/ITO/ПОЛІІМІД/Al2O3

Автор(и)

  • Л. В. Зайцева Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»; ВАТ «Турбоатом, Україна https://orcid.org/0000-0003-4405-1531
  • Г. С. Хрипунов Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», Україна
  • Р. В. Зайцев Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», Україна https://orcid.org/0000-0003-2286-8452
  • Б. М. Горкунов Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», Україна
  • А. Л. Хрипунова Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2015.2.73666

Ключові слова:

тонкоплівковий перетворювач, ємнісний метод, дефектоскопія металів

Анотація

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких шарів у ємнісних перетворювачах на основі структури Al/ITO/поліімід/Al2O3 загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури
Al/ITO/поліімід/Al2O3.

Посилання

B.E. Paton, V.A. Troickiy, Yu.M. Posypaiko. Nerazrushaushiy kontrol’ v Ukraine // Inform. Bul. Ukrainskogo obshestva nerazrushaushego kontrolya i technicheskoy diagnostiki, 2(18), pp. 5–9 (2003).

V.A. Troickiy. Kratkoe posobie po kontrolyu kachestva svarnykh soedineniy. К.: IES im. Е.О. Patona, 224 s. (1997).

I.P. Bilokur Akusticheskiy kontrol’. К.: ІZMN, 224 s. (1997).

Nerazrushaushiy kontrol’: spravochnik v 7 t. / Pod obsh. red. V.V. Klueva. М.: Mashinostroenie, 829 s. (2005).

O.M. Karpash Nerazrushaushiy kontrol’ i technicheskaya diagnostika neftegazovogo oborudovania i instrumenta // Metody i pribory kontrolya kachestva, 1, pp. 22–24 (1997).

S.G. Lvov, L.V. Glebova. Maket pribora dlya ultrazvukovogo kontrolya emkostnym sposobom // Vestnik NTU “KhPI”: Sbornik nauchnykh trudov. «Electroenergetika i preobrazovatelnaya technika», 41, pp.128–131 (2012).

B.M. Gorkunov, I.V. Tyupa, L.V. Glebova. Teoriya vozbuzhdenia i priema akusticheskih voln emkostnym preobrazovatelem // Technicheskaya diagnostika i nerazrushayushiy control, 3, pp.35–39 (2011).

Ya.S. Umanskiy. Rengenografia metallov I poluprovodnikov. М.: Metallurgiya, 496 s. (1969).

V.V. Batavin, Yu.A. Koncevoy, Yu.V. Fedorovich. Izmerenie parametrov poluprovodnikovyh materialov i structur, М.: Radio i svyaz (1985).

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-04-01

Номер

Том 12 № 2 (2015)

Розділ

Хімічні сенсори

Ліцензія

Авторське право (c) 2015 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.