МЕТОД ТРАФАРЕТНОГО ДРУКУ В ТЕХНОЛОГІЇ ПРИСТРОЇВ НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2017.1.96442Ключові слова:
акустоелектронний пристрій на поверхневих акустичних хвилях, акустопоглинач, трафаретний друкАнотація
У роботі описано метод нанесення акустопоглинача на звукопроводи пристроїв на поверхневих акустичних хвилях, що базується на трафаретному друці, який використовується при виготовленні товстоплівкових гібридних інтегральних схем.
Наведено структурну схему технологічного процесу нанесення акустопоглинача. Обговорюються особливості окремих операцій. Вказані приклади типового промислового оснащення.
Наведено оптимальні режими – гідравлічний тиск, швидкість руху ракеля, кут атаки та інші технологічні режими нанесення та їх зв’язок з фізико-хімічними та технологічними характеристиками акустопоглиначів.
Посилання
Filtryi na poverhnostnyih akusticheskih volnah: raschet, tehnologiya i primenenie/ Pod red. G. Mettyuza. -M.: Radio i svyaz, 1981, -472 s. (in Russian).
Campbell, C. Surface Acouatic Wave Devices and Signal Processing Applications [Text] / C. Campbell // Elsvier. -2012, 475 p.
Lepikh Ya. I. Frequency dependences of signal insertion losses in devices on SAW with piezoelectric acoustic duct // 8th International Conference on Ultrawideband and Ultrashort Impulse Signals,(UWBUSIS-16), 5-11 September, Odessa,Ukraine, P. 187-189.
Poglotitel poverhnostnyih akusticheskih voln. Zayavka #3936524/23 MKI NOZN (in Russian).
Karpuk M. M., Kostyuk D. A., Kuzovko Yu. A. i dr. Otrazhenie i prelomlenie akusticheskih voln na granitse dielektrik – magnitoakusticheskiy material // ZhTF, 2003. -T. 73. -Vyip. 7. -S. 97-101 (in Russian).
Asadchaya M. V., Baev A. R., Sergeeva O. S. Vliyanie parametrov tehnologicheskogo vyistupa na formirovanie akusticheskogo polya preobrazovatelya poverhnostnyih voln // Vestnik Belorus. -Ros. un-ta. 2014, № 1 (42) (in Russian).
Tolstoplenochnyie tehnologii ElMi (materialyi sayta) http://elmi-ua.com (in Russian).
Ivanov S. V., Karelin E. Yu. Analiz tehnologicheskih protsessov izgotovleniya integralnyih shem i mikro elektromehanicheskih sistem // Trudy` Mezhdunarodnogo simpoziuma «Nadezhnost` i kachestvo», 2012.- t. 2.- http://cyberleninka.ru/article/n/analiz-tehnologicheskihprotsesov-izgotovleniya-integralnyh-shem-i-mikroelektromehanicheskih-sistem (in Russian).
Markov V. F., Muhamedzyanov H. N., Maskaeva L. N. i dr. Materialyi sovremennoy elektroniki. – Ekaterinburg 6 iz-vo Uralskogo un-ta, 2014 (in Russian).
Lepikh Ya. I. Lavrenova T. I., Buhaiova T. M., Lenkov S. V. Funktsionalnyi tovstoplivkovyi material dlia sensoriv ta hibrydnykh intehralnykh skhem na bazi nanokompozytiv “Sklo -Pb2Ru2O6, Ag, Pd” // Tezy dopovidei 6-oi Mizhnarodnoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii “Sensorna elektronika ta mikrosystemni tekhnolohii” (SEMST-6), Ukraina, Odesa, “Astroprynt”, 29 veresnia – 3 zhovtnia 2014. – S. 137 (in Ukrainian).
Lepikh Ya. I., Lavrenova T. I., Buhaiova T. M. Nyzkoomnyi rezystyvnyi material dlia tovstoplivkovykh elementiv // Patent na korysnu model №90549, nomer zaiavky u201401027 publikatsiia vid 26. 05. 2014, biul. №10/2014 (in Ukrainian).
Lepikh Ya. I., Lavrenova T. I., Zatovska N. P. Nizkoomniy rezistivniy material dlya tovstoplivkovih elementiv gibridnih Integralnih shem i mikroelektronnih sensoriv //Zbirnik robit naukovih ustanov Odeskogo regionu – uchasnikiv konkursu innovatsiynih proektiv u 2015 rotsi, vip. 1, Odesa, 2015. - S. 26-27 (in Ukrainian).
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2017 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
