ДОСЛІДЖЕННЯ І РОЗРОБКИ МІКРОСЕНСОРІВ І МІКРОСИСТЕМНОЇ ТЕХНІКИ В ГНЦ РОСІЙСЬКІЙ ФЕДЕРАЦІЇ НПК “ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР” МИЭТ

Автор(и)

  • N. A. Shelepin Науково-виробничий комплекс «Технологічний центр», Російська Федерація

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.1.112088

Ключові слова:

мікросистеми, перетворювачі фізичних величин, тензорезистор, акселерометр, мікротермоанемометр

Анотація

Представлено основні напрямки і результати розробок мікросенсорів і мікросистем Державного наукового центра Російської Федерації НПК “Технологічний центр” МИЭТ. З використанням базових технологічних процесів і устаткування мікроелектронного виробництва розроблена універсальна технологія об’ємної мікрообробки кремнію і методи її інтеграції з технологією аналого-цифрових ІС. Представлено основні характеристики і конструкції сенсорів механічних величин: тиску, прискорення, сили.

Посилання

А.И.ГАЛУШКОВ, В.Н.ЗИМИН, Ю.А.ЧАПЛЫГИН, Н.А.ШЕЛЕПИН. КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ДАТ- ЧИКИ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН НА ОСНОВЕ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ // ЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕН- НОСТЬ. — 1995. — N4-5. — С. 95-101.

ШЕЛЕПИН Н.А. КРЕМНИЕВЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН И КОМПОНЕНТЫ ДАТЧИКОВ. ДАТЧИКИ И МИКРОСИТЕМЫ НА ИХ ОСНОВЕ // МИКРО- СИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА. — 2002. — №9. — С. 2–10.

V.D. VERNER, A.N. SAOUROV, N.A. SHELEPIN. UNIVERSAL TECHNOLOGY OF SILICON MICROSYSTEMS FABRICATION // PROCEEDINGS OF THE IARP INTERNATIONAL WORKSHOP IN MOSCOW ON MICRO ROBOTS MICRO MACHINES AND MICRO SYSTEMS. APRIL 24-25, 2003, MOSCOW, RUSSIA. — P. 143-148.

САУРОВ А.Н., ЗИМИН В.Н., УМАНЦЕВ А.В, ШЕЛЕПИН Н.А. МИКРОДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЙ И МИКРОСИСТЕМЫ НА ИХ ОСНОВЕ // ДАТЧИКИ И СИСТЕМЫ. — 1999 Г. — №4. — C. 28-32.

Е.В.СИНИЦИН, Н.А.ШЕЛЕПИН. ВЫСОКОТОЧНЫЕ ДАТЧИКИ СИЛЫ НА ОСНОВЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСЕНСОРОВ // ВСЕРОССИЙСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ “СЕНСОР-2000”, С.-ПЕТЕРБУРГ, ИЮНЬ 2000, ТЕЗ. ДОКЛ., C.60.

БРЕХОВ Р.С. ШЕЛЕПИН Н.А. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ КРЕМНИЕВЫЙ ТЕНЗОАКСЕЛЕРОМЕТР // ПАТЕНТ РФ №2072728 ОТ 24.02.1994.

N.A.SHELEPIN, I.V.GODOVITSIN. FABRICATION OF POLYSILICON SUPRASEMICROMACHINED STRUCTURES USING FAB IC PROCESSES // WORKSHOP PROCEEDINGS. IIIRD NEXUSPAN WORKSHOP ON MICROSYSTEMS IN ENVIRONMENTAL MONITORING 13-14 DECEMBER 1996, UZKOE HOTEL, MOSCOW, P. 83-88.

ГОДОВИЦЫН И.В., ЗИМИН В.Н., ПЕТРОВ А.Ю., ШЕЛЕПИН Н.А. СВЕРХМИНИАТЮРНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СПЕЦИАЛЬНЫХ ПРИМЕНЕНИЙ // МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА. — 2001. — №7. — С. 3-5.

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-10-17

Номер

Том 2 № 1 (2005)

Розділ

Сенсори фізичних величин

Ліцензія

Авторське право (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.