ТЕНЗОРЕЗИСТИВНИЙ ЕФЕКТ У ТОВСТИХ ПЛІВКАХ НА ОСНОВІ ЛЕГОВАНОГО СУРМОЮ ДИОКСИДУ ОЛОВА
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.1.112259Ключові слова:
товсті резистивні плівки, коефіцієнт тензочутливості, тунелюванняАнотація
Досліджено тензорезистивний ефект у високоомних товстих плівках на основі SnO2 — Sb. Виявлено, що досліджені плівки мають високу тензочутливість, це робить їх перспективними для використання у тензодатчиках. Встановлено, що величина і знак коефіцієнта тензочутливості залежать від методу вимірювання. Пояснення зв’язується зі структурними особливостями плівок і механізмом їх електропровідності. На тензочутливість плівки також впливає матеріал підкладки.Посилання
ВИНИЦКИЙ И. М., РУДЬ Б. М., ТЕЛЬНИКОВ Е. Я., ГОНЧАР А. Г., РОЛЬ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕН- ЦИАЛОВ НА МЕЖФАЗНЫХ ГРАНИЦАХ В КОМПОЗИЦИОН- НЫХ ТОЛСТЫХ ПЛЕНКАХ В ФОРМИРОВАНИИ ИХ ЭЛЕКТ- РОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ // МЕТАЛЛОФИЗИКА И НО- ВЕЙШИЕ ТЕХНОЛОГИИ. — 2002. — Т. 24, №9. — С. 1261–1266.
ДЫШЕЛЬ Д. Е., РУДЬБ. М., СМОЛИН М. Д., ПРИРО- ДА АКТИВАЦИОННОЙ ПРОВОДИМОСТИ В КОМПОЗИЦИ- ОННЫХ ПЛЕНКАХ НА ОСНОВЕ ПОРОШКОВ ЛЕГИРОВАН- НОГО ДИОКСИДА ОЛОВА И СТЕКЛА // ПОРОШКОВАЯ МЕТАЛЛУРГИЯ. — 1987. — №11. — С. 63–68.
ДЫШЕЛЬ Д. Е., РУДЬ Б. М., СМОЛИН М. Д., СТОЯ- НОВ И. А., ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ ГРАНУЛИРОВАН- НЫХ ПЛЕНОК “ЛЕГИРОВАННЫЙ ДИОКСИД ОЛОВА-СТЕ- КЛО” // РАДИОТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА. — 1988. — Т. 33, №10. — С. 2214–2216.
ДЫШЕЛЬ Д. Е., РУДЬ Б. М., СМИРНОВ В. П., СМОЛИН М. Д., ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРЫ НА ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕ- НИЕ ТОЛСТЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ЛЕГИРОВАННОГО ДИО- КСИДА ОЛОВА // ИЗВ. АН СССР. СЕР. НЕОРГ. МАТЕР. — 1985. — Т. 21, №10. — С. 1706–1709.
ГОНЧАР А. Г., ВИНИЦКИЙ И. М., ДЫШЕЛЬ Д. Е., ВЗАИМОСВЯЗЬ ТЕРМИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ С ЭЛЕКТ- РОФИЗИЧЕСКИМИ СВОЙСТВАМИ РЕЗИСТИВНЫХ ТОЛС- ТЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ SNО2-SB // ДОПОВІДІ НАНУ. — 2001. — №5. — С. 82–89.
ГОНЧАР А. Г., РОГОЗИНСЬКА А. О., РУДЬ Б. М., ВIНИЦЬКИЙ I. М., ВПЛИВ ПІДКЛАДКИ НА ЕЛЕКТРОФІ- ЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ КОМПОЗИЦІЙНИХ ПЛІВОК НА ОС- НОВІ SNO2 -SB // УФЖ. — 2003. — Т. 48, №2. — С. 146–150.
BELAVIC D., PAVLIN M., GRAMC S., HROVAT M., SANTO-ZARNIC M., SOME APPLICATIONS OF THICK-FILM STRAIN GAUGE // IN PROC. OF 24 TH INTERN. CONF. AND EXHIB., IMAPS., POLAND. — 2000. — P. 199–202.
GRIMALDI C., RYSER P., STRДSSLER S., GAUGE FACTOR ENHANCEMENT DRIVEN BY HETEROGENEITY IN THICK-FILM RESISTORS // J. APPL. PHYS. — 2001. — V. 90, N1. — P. 322–327.
PRUDENZIATI M. THICK FILM SENSORS. — N. Y.: ELSEVIER. — 1994. — 464 P.
CANALI C., MALAVASI D., MORTEN B., PRUDENZIATI M., TARONI A. STRAIN SENSITIVITY IN THICK-FILM RESISTORS // IEEE TRANS., COMP., HYBRIDS., AND MANUF. TECHNOL. — 1980. — V. 3, N 3. — P. 421–423.
МЕЙСКИН З. Г. НЕСПЛОШНЫЕ И КЕРМЕТНЫЕ ПЛЕНКИ. — В КН.: ФИЗИКА ТОНКИХ ПЛЕНОК. М.: МИР, 1978. — Т8. — С. 106–179.
PARKER R. L., KRINSKY A., ELECTRICAL RESISTANCESTRAIN CHARACTERISTICS OF THIN EVAPORATED METAL FILMS // J. APPL. PHYS. — 1963. — V. 34, N 9. — Р. 2770– 2775.
ВИНИЦКИЙ И. М., ДЫШЕЛЬ Д. Е., РУДЬ Б. М., ТЕЛЬНИКОВ Е. Я., ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ СТРУ- КТУРЫ И ИХ ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ КЕР- МЕТНЫХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ BAB6 -LAB6 И SNO2 -SB // ПОРОШКОВАЯ МЕТАЛЛУР- ГИЯ. — 1991. — №6. — С. 43–48.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
