DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.3.112366

ВИЗНАЧЕННЯ ПОЗИЦІЙНОЇ ХАРАКТЕРИСТИКИ КООРДИНАТНОГО ФОТОПЕРЕТВОРЮВАЧА В УМОВАХ ТЕПЛОВОГО ДРЕЙФУ

P. A. Yaganov, A. V. Borysov

Анотація


Досліджено функціонування оптоелектронного перетворювача мікропереміщень, виготовленого за інтегральною технологією кремнієвих структур з діелектричною ізоляцією (КСДІ), в умовах дії теплових збурень. Запропоновано спосіб ідентифікації позиційної характеристики в умовах температурного дрейфу і визначення координати, що вимірюється. Для цього використовують термометричні характеристики фотоперетворювача, за допомогою яких встановлюють температуру координаточутливого елементу. Це дає змогу ідентифікувати позиційну характеристику в умовах температурного дрейфу і підвищити точність вимірювання координати. Для апроксимації позиційної характеристики використано метод регресійного аналізу.

Ключові слова


оптоелектронний перетворювач мікропереміщень; температурний дрейф; позиційна характеристика

Повний текст:

PDF

Посилання


САМАРИН А.А. ПОЗИЦИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ФОТОДАТЧИКИ //ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ. — 2003. — № 7. — С. 103 — 108.

АКСЕНЕНКО М.Д., БАРАНОЧНИКОВ, СМОЛИН О.В. МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ФОТОПРИЕМНЫЕ УСТРОЙСТВА. — М.: ЭНЕРГОАТОМИЗДАТ, 1984. — 208 С.

ЯГАНОВ П.А., КЛЕТЧЕНКОВ И.И. СВЯЗЬ ФОТО-ЭДС ХОЛОСТОГО ХОДА ФОТОЭЛЕМЕНТА С УРОВНЕМ ЛЕГИРОВАНИЯ Р- И N-БЛАСТЕЙ // ДИЭЛЕКТРИКИ И ПОЛУПРОВОДНИКИ. — 1987. — ВЫП.31. — С.89-95.

SINGH R.V., SINGAL C.M. TEMPERATURE DEPENDENCE OF A PRESSURE OF IDLING OF THE SILICON SOLAR BATTERY // SOLAR CELLS. — 1983. — V.10. — P.155-175.

ЯГАНОВ П.А.. ТЕРМОМЕТРИЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ІНТЕГРАЛЬНОЇ МІКРОЕЛЕКТРОННОГО СЕНСОРА // ЭЛЕКТРОНИКА И СВЯЗЬ. — 2005. № 26. — C.21 — 26.

БРЮХНО Н.А., ЖАРКОВСКИЙ Е.М., КОНЦЕВОЙ Ю.А., САХАРОВ Ю.Г. КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ ДЛЯ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. ОБЗОРЫ ПО ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКЕ. СЕРИЯ 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. ВЫП. № 4 (1304). — М.:ЦНИИ “ЭЛЕКТРОНИКА”, 1987. — 41 С.

ЯГАНОВ П.А. КООРДИНАТНЫЙ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ С ТЕМПЕРАТУРНОЙ СТАБИЛИЗАЦИЕЙ // ЭЛЕКТРОНИКА И СВЯЗЬ. — 2003. № 20. — C.208 — 210.




Copyright (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)