ГАЗОВІ СЕНСОРИ НА ОСНОВІ ОКСИДУ ЦИНКУ (ОГЛЯД)

M. E. Bugayova, V. M. Koval, G. V. Lashkarev, V. I. Lazorenko, V. A. Karpina, V. D. Khranovskyy

Анотація


Широкий діапазон використання газових сенсорів, зокрема, в добувній промисловості для знаходження витоку газів, для контролю газових викидів в атмосферу на промислових підприємствах, в житлово-комунальному господарстві, в побутовій техніці робить актуальним огляд. Оскільки раніше не проводився систематизований аналіз газових сенсорів на основі ZnO — ця робота представляє інтерес для розробки хімічних сенсорів газів з високою чутливістю, селективністю, стабільністю на основі оксиду цинку. Найбільш детально розглянуто газовий сенсор резистивного типу на основі тонкоплівкового ZnO, якому притаманний ряд переваг: висока чутливість, низька вартість, малі розміри, проста технологія виготовлення, забезпечення детектування майже всіх газів та парів за низьких концентрацій, концентрація газів, що аналізуються безпосередньо перетворюється в електричний сигнал, що значно спрощує схему вимірювання. В роботі подається таблиця головних характеристик існуючих тонкоплівкових газових сенсорів на базі ZnO, яка надає змогу оцінювати можливості існуючих газових сенсорів на плівках оксиду цинку

Ключові слова


газовий сенсор; плівка ZnO; провідність; чутливість; робоча температура; сенсор резистивного типу; підкладка; легуючи домішки

Повний текст:

PDF

Посилання


Новиков Ю.В., Охрана окружающей среды. Учебное пособие для учащихся техникумов. — М.: Высшая школа, 1987. — 287 c.

Джигирей B.C. Екологія та охорона навколишнього природнього середовища.Навчальний посібник. — К.: Знання, 2000. — 203 с.

Дорожкин Л.М, Розанов И.А., Химические газовые сенсоры в диагностике окружающей среды // Сенсор. — 2001. — №2. — 2 с.

Поліщук С.В., Екологія енергосистем. — К.: Знання, 1990. — 16 с.

Hidehito Nanto, Hideki Sokooshi Takaaki Kawai. Aluminum-doped ZnO thin film gas sensor capable of detecting freshness of sea footi&l I Sensors and actuators . — 1993. — №13. -14. — P.715-717.

Paraguay F.,Miki-Yoshida M., Morales J., Soils J.,Estrada L.W., Influence of Al, In, Cu, Fe and Sn dopants on the response of thin film ZnO gas sensor to ethanol vapour// Thin films. — 2000. — №l-2. — P.137 -140.

Sberveglieri G., Groppelli S., Nelli P., Tintinelli A., Giunta G. A novel method for the preparation of NH3 sensors based on ZnO-In thin films //Sensors and actuators. — 1995. — № 24-25. — P. 588 -590.

Chatterjee A.P., Mitra P., Mukhopadhyay A.K. Chemically deposited zinc oxide thin film gas sensor //Journal of materials science. — 1999. — №34. — P. 4225 — 4231.

Shigenori Matsushima, Daisuke Ikeda, Kenkichiro Kobayashi, Genji Okada. NO2 gas- sensing properties of Ga-doped ZnO thin film //Sensors and actuators. — 1993. — №13. — P. 621 -622.

Karpina V.A., Lazorenko V.I., L-ashkarev G.V., Dobrowolskiy V.D. et.al. Cryst. Res. Technol. — 2004. — № 39. — P. 980-992.

Marcus Bender, Elvira Fortunate, Patricia Nunes, Isabel Ferreira, Antonio Marques. Highly sensitive ZnO ozone detectors at room temperature //Japan journal of applied physics. — 2003. — № 42. — P. 435 — 437.

Sberveglieri G., Groppelli S., Nelli P. Oxygen gassensing characteristics for ZnO(Li) sputtered thin films //Sensors and actuators. — 1992. — №7. — P. 747 -750.

Malyshev V.V., Vasiliev A.A., Fryshkin A.V. Gas sensivity of SnO2 and ZnO thin film resistive sensors to hydrocarbons, carbon monoxide and hydrogen //Sensors and actuators. — 1992. — №10. — P. 11 — 14. 10.

Varfolomeev A.E., Volkov A.I., Eryshkin A.V. Detection of phosphine and arsine in air by sensors based on SnO2 and ZnO //Sensors and actuators. — 1992. — №7. — P.727 -729.

Tsutomu Yamazaki, Satoshi Wada, Tatsuo Noma, Takeyuki Suzuki. Gas-sensing properties of ultrathin zinc oxide films //Sensors and actuators. — 1993. — №13. — P.594 - 595.

Naoto Koshizaki, Toshie Oyama. Sensing characteristics of ZnO-based NOx sensor // Sensors and actuators. — 2000. — №1. — P. 119-121.

Таланчук П.М., Голубков С.П., Маслов В.П. Сенсоры в контрольно-измерительной технике. — К.:Техника. — 1991. — 175 с.




DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.3.112374

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)