ІНЖЕНЕРІЯ ЧУТЛИВИХ ЕЛЕМЕНТІВ СЕНСОРІВ ПАРИ ЕТАНОЛУ, АМІАКУ ТА АЦЕТОНУ НА ОСНОВІ ТОНКИХ ПЛІВОК ZnO:Cu
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2012.1.112799Ключові слова:
сенсор, ZnO, Cu, тонкі плівки, етанол, аміак, ацетонАнотація
Методом ВЧ-магнетронного розпилення створено тонкі плівки ZnO:Cu з різною
концентрацією міді. Досліджено вплив концентрації домішки міді на сенсорні властивості тонких плівок оксиду цинку, такі як чутливість та час відгуку, для аналізу пари етилового спирту, аміаку та ацетону.
Посилання
Heiland G., Homogeneous semiconducting gas sensors // Sensors and Actuators.- 1982.-№2.- P. 343-361.
Paraguay F., Miki–Yoshida M., Morales J. et al., Influence of Al, In, Cu, Fe and Sn dopants on the response of thin film ZnO gas sensor to ethanol vapour // Thin films.- 2000.- №1.-2, P. 137-140.
Rao G.S.T and Rao D.T., Gas sensitivity of ZnO based thick film sensor to NH3 at room temperature // Sensors and Actuators B.- 1999.- №55.- P.
-169.
Nanto H., Sokooshi H. and Kawai T., Aluminiumdoped ZnO thin film gas sensor capable of detecting of seafoods // Sensors and Actuators B.- 1993.- №13.- P. 715-717.
Nanto H., Morita T., Habara H. et al., Doping effect of SnO2 on gas sensing characteristics of sputtered ZnO thin film chemical sensor // Sensors and Actuators B.- 1996.- №35.- P. 384-387.
Чохань М.І., Ціж Б.Р., Лазоренко В.Й., Технологічні властивості напівпровідникових сенсорів для визначення вмісту етанолу у
харчових продуктах // Східно-Європейський журнал передових технологій.- 2007.- №6.- С. 49-51.
Dayan N.J., Sailnkar S.R., Karekar R.N. et al., A thick film hydrogen sensor based on ZnO:MoO3 formulation // Materials Science and Technology.- 1998.- №9.- P. 360-364.
Dayan N.J., Sailnkar S.R., Karekar R.N. et al., Formulation and characterization of ZnO:Sb thick-film gas sensors // Thin Solid Films.- 1998.- №325.- P. 254-258.
Nichev H., Angelov O., Pivin J. et al., Sensitivity of Co doped ZnO films to NH3 at room temperature - influence of the deposition temperature //
Journal of Physics: Conference Series.- 2008.- №113.- P. 012035-1-012035-4.
ztas M., Bedir M., Thickness dependence of structural, electrical and optical properties of sprayed ZnO:Cu films // Thin Solid Films.- 2008.- №516.- P. 1703-1709.
Kuo S.T., Tuan W.H., Shieh J. et al., Effect of Ag on the microstructure and electrical properties of ZnO // J. Europ. Ceramic Soc.- 2007.- №7.-
P. 4521-4527.
Грузинцев А.Н., Волков В.Т., Якимов Е.Е., Фотоэлектрические свойства пленок ZnO, легированных акцепторными примесями Cu
и Ag // Физика и техника полупроводников.- 2003.- №37.- С. 275-278.
Deng R., Zou Y., Tang H., Correlation between electrical, optical properties and Ag2+ centers of ZnO:Ag thin films // Physica B.- 2008.- №403.- P. 2004-2007.
Shannon R.D., Revised effective ionic radii and systematic studies of interatomic distances in halides and chalcogenides // Acta Crystallogr.
Sect. A.- 1976.- №A32.- P. 751-767.
Вуйцік В.Ч., Готра З.Ю., Григор’єв В.В. та ін., Мікроелектронні сенсори фізичних величин.- Л.: Ліга-Прес, 2004.- 1686 с.
Bedir M., ztas M., Yazici A.N. et al., Characterization of undoped and Cu-doped ZnO thin films deposited on glass substrates by spray pyrolysis // Chin. Phys. Lett.- 2006.- №4.- P. 939-942.
Ramakrishna R.K., Reddy B.S., Forbes I. et al., Highly oriented and conducting ZnO:Ga layers grown by chemical spray pyrolysis // Surface
and Coatings Technology.- 2002.- №51.- P. 110-113.
Ramakrishna R.K., Gopalaswamy H., Reddy P.J., Effect of gallium incorporation on the physical properties of ZnO films grown by spray
pyrolysis // Journal of Crystal Growth.- 2000.- №210.- P. 516-520.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2012 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
