ТЕХНОЛОГІЯ ВИГОТОВЛЕННЯ ПОЛІМЕРНОГО МІКРОФЛЮЇДНОГО ПРИСТРОЮ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2008.4.115242Ключові слова:
капілярний електрофорез, лазерна абляція, мікрофлюїдний пристрій, поліметилметакрилат, термічне спіканняАнотація
У роботі досліджено можливість застосування методу лазерної абляції (ЛА) та термічного спікання при виготовленні полімерних мікрофлюїдних пристроїв. Наведено експериментальні залежності геометричних розмірів поперечного перерізу мікроканалів у матриці з поліметилметакрилату (ПММА) від параметрів лазерного випромінювання і відповідні залежності після спікання. Показано, що при цільовому виборі параметрів лазерного випромінювання та термічного спікання, технологія ЛА дає можливість сформувати в ПММА-пластинах відтворювальні структури, які після герметизації досягають розмірів від 50 до 170 мкм.
Посилання
Dittrich P., Tachikawa K. et al. Micro Total Analysis Systems. Latest Advancements and Trends // Anal. Chem. — 2006. — Vol.78. — P. 3887-3907.
Bilitewski U., Genrich M. et al. Biochemical Analysis with Microfluidic Systems // Anal Bioanal Chem. — 2003. — Vol. 377. — P. 556-569.
Kraly J., Fazal M.A., Schoenherr R.M. et al. Bioanalytical Applications of Capillary Electrophoresis // Anal. Chem. — 2006. — Vol. 78. — P. 4097- 4110.
Vandaveer W., Pasas-Farmer S. et al. Recent Developments in Electrochemical Detection for Microchip Capillary Electrophoresis. Review // Electrophoresis. — 2004. — Vol. 25. — P. 3528–3549.
Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. — Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2005. — 103 с.
Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение. — М.: Техносфера, 2004. — 528 с.
Becker H., Gдrtner C. Polymer Microfabrication Technologies for Microfluidic Systems // Anal Bioanal Chem. — 2008. –Vol. 390. — P.89–111.
Kameoka J., Craighead H. et al. A Polymeric Microfluidic Chip for CE/MS Determination of Small
Molecules // Anal. Chem. — 2001. — Vol. 73. — P. 1935-1941.
Shadpour H., Soper S. Two-Dimensional Electrophoretic Separation of Proteins Using Poly(methyl methacrylate) Microchips // Anal. Chem. — 2006. — Vol. 78. — P. 3519 -3527, 2006.
Shadpour H.; Hupert M. L. et al. Multichannel Microchip Electrophoresis Device Fabricated in Polycarbonate with an Integrated Contact Conductivity Sensor Array // Anal. Chem. — 2007. –Vol. 79. — P. 870-878.
Guber A., Heckele M. et al., Microfluidic Lab-ona-Chip Systems Based on Polymers-Fabrication and Application // Chemical Engineering J. — 2004. — Vol. 101. — P.447-453.
Xu J., Locascio L. et al. Room-Temperature Imprinting Method for Plastic Microchannel Fabrication // Anal. Chem. — 2000. — Vol. 72. — P. 1930-1933.
Snakenborg D., Klank H. Micro-Structure Fabrication with a CO2 Laser System // J. Micromech. Microeng. –2004. — N 14. — P. 182-189.
Klank Н., Kutter J.P., Geschke O. CO2 -Laser Micromachining and Back-end Processing for Rapid Production of PMMA-based Microfluidic Systems // Lab-on-a-Chip. — 2002. — Vol. 2. — P. 242-246.
Jacobson S., Hergenroder R., Koutny L. et al. Effects of Injection Schemes and Column Geometry on the Performance of Microchip Electrophoresis Devices // Anal. Chem. — 1994. — Vol. 66. — P. 1107-1113.
Jacobson S., Culbertson C. et al. Microchip Structures for Submillisecond Electrophoresis // Anal. Chem. — 1998. –Vol. 70. — P. 3476-3480.
Muzyka K., Rozitskii M. An Approach to Optimize the Design of Microfluidic Chips for Electrophoretic Separations // Microchimica Acta. — 2008. — Р. 1-6.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2008 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
