DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2012.4.115154

ВИГОТОВЛЕННЯ МОНОДИСПЕРСНИХ КЕРАМІЧНИХ ПОРОШКІВ SiC І Si3N4 З ВИКОРИСТАННЯМ CO2-ЛАЗЕРА

Ш. Д. Курмашев, А. Н. Софронков, Т. М. Бугайова, Т. І. Лавренова, Н. С. Дзюба

Анотація


Запропоновано процес отримання порошків SiC і Si3N4 з використанням CO2-лазера. Технологія відрізняється тим, що реагентні гази, що використовуються, – силан і аміак (для отримання нітриду кремнію) або етилен (для отримання карбіду кремнію) пропускаються через промінь CO2-лазера. При цьому виходить високочистий, неагломерований, дрібнодисперсний порошок, що містить сферичні частинки однакового розміру (монодисперсний).

Ключові слова


кераміка; карбід кремнію; нітрид кремнію

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


Lynn G. Properties of silicon carbide. - United Kingdom: IEE, 1995. – 282 p.

Park Yoon-Soo. SiC materials and devices. - Academic Press, 1998. – P. 20.

Bunsell A. R., Piant, A. A. Review of the development of three generations of small diameter silicon carbide fibres // Journal of Materials Science. – 2006.–V.26 – P. 823.

Pitcher M. W., Joray S. J., Bianconi P. A. Smooth Continuous Films of Stoichiometric Silicon Carbide from Polymethylsilyne // Journal of Advanced Materials.- 2004. – V.44. – P. 706.

Laine R. M. Preceramic polymer routes to silicon carbide // Journal of Chemistry of Materials. – 1993. – V.56. – P. 260.

Накамото К. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений. – М.: Мир. – 1966 г – 450 с.

Курмашев Ш. Д., Бугаева Т. Н., Лавренова Т. И., Марколенко П. Ю., Садова Н. Н., Софронков А. Н., Вакив Н. М. Легкоплавкие висмутосодержащие стекла // Sensor Electronics and Micro-system technologies. – 2012.– V. 3(9), N 1.– P.76-81.

Курмашев Ш. Д., Лепих Я. И., Лавренова Т. И., Бугаева Т. Н. Зависимость электрофизических параметров нанодисперсных композитов «стекло-RuO2» от размеров агломератов токопроводящей фазы // Sensor Electronics and Microsystem technologies. – 2012. – V. 3(9), N 2. – P.56–60.




Copyright (c) 2012 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)