ЗАСТОСУВАННЯ ГІБРИДНИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ ПОРУВАТОГО КРЕМНІЮ ДЛЯ СТВОРЕННЯ ЕЛЕМЕНТІВ СЕНСОРНИХ ПРИСТРОЇВ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2012.3.114711Ключові слова:
поруватий кремній, гібридні структури, сенсори, адсорбція, адсорбційна чутливість, провідність, електрична ємність, фотоерсАнотація
Створено багатошарові сенсорні структури спряжений полімер – поруватий кремній. Вивчено вплив адсорбції молекул води на високочастотну (1 МГц) провідність і ємність гібридних структур на основі поруватого кремнію. Зареєстровано суттєву зміну електричної провідності та ємності в залежності від концентрації водяної пари. Для оцінки сенсорних властивостей було розраховано адсорбційну чутливість одержаних структур. Виявлено утворення фоточутливих електричних бар’єрів у гібридній структурі поліетилендіокситіофен – поруватий кремній, параметри яких у значній мірі залежали від оточуючої газової атмосфери. Отримані результати дозволяють оптимізувати процеси формування високочутливих та селективних сенсорів газу на основі поруватого кремнію.Посилання
Bisi O., Ossicini S., Pavesi L. Porous silicon: a quantum sponge structure for silicon based optoelectronics // Surface science reports. – 2000. — V. 38. — P. 1–126.
Ozdemir S., Gole J. The potential of porous silicon gas sensors // Curr. Opin. in Solid State and Mater. Science. — 2007. — V. 11. — P. 92-100.
Rittersma Z. M. A monitoring instrument with capacitive porous silicon humidity sensors // Smart Mater. Struct. — 2000. — V. 9. — P. 351–356.
Baratto C., Faglia G., Sberveglieri G. Gaburro Z., Pancheri L., Oton C., Pavesi L. Multipara-metric Porous Silicon Sensors // Sensors. — 2002. — V.2. — P.121–126.
Монастирський Л. С., Оленич І. Б., Аксіментьєва О. І., Соколовський Б. С., Павлик М. Р. Газоадсорбційні сенсорні структури на основі поруватого кремнію // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології. – 2011. – Т. 2(8), №3. - С. 38-43.
Misra S., Bhattacharya R., Angelucci R. Integrated polymer thin film macroporous silicon microsystems // J. Indian Inst. Sci. — 2001. — Vol. 81. — P. 563–567.
Аксіментьєва О. І. Електрохімічні методи синтезу та провідність спряжених полімерів. — Львів: Світ, 1998. — 154 с.
Лукьянова Е. Н., Козлов С. Н., Ефимова А.И., Демидович Г. Б. Динамика взаимодействия молекул воды с пористым кремнием // Структура и динамика молекулярных систем. — 2003. — Вып. Х, № 3. — С. 41–44.
Вашпанов Ю. А., Смынтына В. А. Адсорбционная чувствительность полупроводников. — Одесса: Астропринт, 2005. — 216 c.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2012 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
